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<図書>
半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ

出版者 東京 : コロナ社
出版年 2012.9
大きさ vii, 227p : 挿図 ; 21cm
本文言語 日本語
書誌ID 2004267005
NCID BB10243699 WCLINK

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理工学図-西館2F図書
549.8||KON 12400363607

9784339008371

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別書名 奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体
一般注記 その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
引用・参考文献: p[212]-222
著者標目 近藤, 英一 <コンドウ, エイイチ>
上野, 和良 <ウエノ, カズヨシ>
内田, 寛 <ウチダ, ヒロシ>
曽根, 正人 <ソネ, マサト>
生津, 英夫 <ナマツ, ヒデオ>
服部, 毅 <ハットリ, タケシ>
堀, 照夫 <ホリ, テルオ>
森口, 誠 <モリグチ, マコト>
件 名 BSH:半導体
BSH:マイクロマシン
BSH:超臨界流体
NDLSH:マイクロエレクトロニクス
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDC9:431.8
NDC9:431.3
NDLC:PA51
巻冊次 ISBN:9784339008371 ; PRICE:3400円+税