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<図書>
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
レジスト ザイリョウ
(高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)

出版者 東京 : 共立出版
出版年 2005.2
大きさ iv, 104p : 挿図 ; 19cm
本文言語 日本語
書誌ID 2003650741
NCID BA70954224 WCLINK

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理工学図-西館2F図書
578||KOB||10 12400471293

9784320043725

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著者標目 伊藤, 洋(1946-) <イトウ, ヒロシ>
高分子学会 <コウブンシ ガッカイ>
件 名 BSH:リソグラフィー
BSH:感光性樹脂
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
巻冊次 ISBN:4320043723 ; PRICE:1400円+税