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<図書>
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
(現場の即戦力)

出版者 東京 : 技術評論社
出版年 2012.1
大きさ x, 301p : 挿図 ; 21cm
本文言語 日本語
書誌ID 2004242784
NCID BB07670705 WCLINK

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理工学図-西館2F図書
549.7||OKA 12400349143

9784774149394

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別書名 異なりアクセスタイトル:半導体リソグラフィ技術 : はじめての
一般注記 工業調査会 2003年刊の改訂
参考文献: 各章末
著者標目 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ>
鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ>
上野, 巧 <ウエノ, タクミ>
件 名 BSH:リソグラフィー
BSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
巻冊次 ISBN:9784774149394 ; PRICE:2580円+税