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<図書>
触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術 / 中山弘監修
ショクバイ CVD Cat‐CVD ノ シンテンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
(CMCテクニカルライブラリー ; 481 . エレクトロニクスシリーズ)

普及版
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2013.11
大きさ v, 276p : 挿図 ; 26cm
本文言語 日本語
書誌ID 2004317431
NCID BB13944703 WCLINK

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理工学図-西館2F図書
508||CMC||481 12400391871

9784781307404

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別書名 標題紙タイトル:Recent developments of catalytic CVD (hot‐wire CVD) : a new radical‐based processing technology
一般注記 文献: 章末
2008年の普及版
著者標目 中山, 弘 <ナカヤマ, ヒロシ>
件 名 BSH:薄膜
BSH:触媒
分 類 NDC9:572.8
NDC9:501.4
巻冊次 ISBN:9784781307404 ; PRICE:4400円+税