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<図書>
プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー / プラズマ・核融合学会編
プラズマ プロセス ギジュツ : ナノザイリョウ サクセイ カコウ ノタメノ アトム テクノロジー

出版者 東京 : 森北出版
出版年 2017.1
大きさ vii, 273p ; 22cm
本文言語 日本語
書誌ID 2004430368
NCID BB22938144 WCLINK

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理工学図-西館2F図書
501.4||PUR 12400467655

9784627775619

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別書名 異なりアクセスタイトル:プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製加工のためのアトムテクノロジー
一般注記 文献: 章末
著者標目 プラズマ・核融合学会 <プラズマ カクユウゴウ ガッカイ>
件 名 BSH:材料科学
BSH:プラズマ物理学
分 類 NDC9:501.4
巻冊次 ISBN:9784627775619 ; PRICE:5600円+税