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<図書>
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ

出版者 東京 : エヌ・ティー・エス
出版年 2017.4
大きさ ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm
本文言語 日本語
書誌ID 2004430655
NCID BB23688949 WCLINK

所蔵情報を非表示

理工学図-西館2F図書
549.7||OKA 12400469230

9784860434670

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一般注記 執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか
文献: 各節末
著者標目 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ>
件 名 BSH:リソグラフィー
BSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
巻冊次 ISBN:9784860434670